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Characterisation of ZrO2 films prepared by rf reactive sputtering at different O2 concentrations in the sputtering gases

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作者
Pengtao Gao,Lijian Meng,M.P. dos Santos,Vasco M. Teixeira,M. Andritschky
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2000-02-01 卷期号：56 (2): 143-148 被引量：88
标识
DOI：10.1016/s0042-207x(99)00199-2
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