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Balancing surface quality and machining efficiency in fused-silica hemispherical resonator via combined magnetorheological polishing and chemical etching

抛光各向同性腐蚀材料科学表面粗糙度蚀刻（微加工）机械加工化学机械平面化制作表面光洁度磁流变液化学过程复合材料质量（理念）研磨曲面（拓扑）表面处理谐振器化学反应光电子学纳米技术表面完整性表面改性

作者

Chuanzhen Ma,Henan Liu,Jian Cheng,Jingyang Guo,Jiangang Sun,Zihan Zhou,Biao Qin,Jinchuan Tian,Mingjun Chen

出处

期刊：Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
日期：2026-02-06 卷期号：350: 119249-119249

标识

DOI：10.1016/j.jmatprotec.2026.119249

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