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Effect of surface treated amorphous Si–Zn–Sn–O on the electrical properties of thin film transistors by Ar plasma treatment

薄膜晶体管材料科学无定形固体等离子体薄膜晶体管光电子学化学工程分析化学（期刊）复合材料纳米技术化学电气工程结晶学有机化学工程类物理量子力学电压图层（电子）

作者

Ji Won Kim,Sang Yeol Lee

出处

期刊：Journal of The Korean Ceramic Society [Springer Science+Business Media]
日期：2024-05-27 卷期号：61 (5): 941-947 被引量：11

标识

DOI：10.1007/s43207-024-00409-6

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