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Integrated vertical force transfer structure for high-performance MEMS-based array piezoresistive tactile sensor

压阻效应 微电子机械系统 触觉传感器 材料科学 声学 光电子学 电子工程 计算机科学 工程类 物理 机器人 人工智能
作者
Shan Wang,Yu Gao,Minli Zhang,Chenyuan Li,Chenxi Yue,Jianhao Zhang,Jiagen Cheng,Yuxin Zhong,Mengyi Hu,Zhihui Liu,Uladzimir Fiadosenka,Chaoran Liu,Linxi Dong
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2025-01-01 卷期号：: 131785-131785
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.131785
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