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作者
Honglin Qian,
Linxin Chen,
Haotian Dai,
Fanhong Chen,
Shuai Liu,
Xiaohui Du,
Shuo Gao,
Yonggang Jiang,
Bing Li,
Minjie Zhu,
Gaopeng Xue
出处
期刊：
Journal of microelectromechanical systems
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-07-18
卷期号：33 (5): 610-619
被引量：2
标识
DOI：10.1109/jmems.2024.3425846
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