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Tribological and Corrosive Performance of Functional Gradient DLC Coatings Prepared by a Hybrid HiPIMS/CVD Techniques
高功率脉冲磁控溅射
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溅射沉积
薄膜
溅射
作者
Shuangshuang Yu,
Duosheng Li,
Yin Ye,
Zhiguo Ye,
Feng Xu,
Wendy Lang,
Junhong Liu,
X Z Yu,
Qing‐Hua Qin
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2025-02-01
卷期号：: 114160-114160
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114160
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