Heteroepitaxial growth of the orthorhombic Ta2O5 single-crystalline films on epi-GaN/α-Al2O3 (0001) substrates by MOCVD

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作者
Yong Le,Xiaochen Ma,Di Wang,Hongdi Xiao,Caìna Luan,Biao Zhang,Jin Ma
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:48 (18): 26800-26805 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2022.05.379
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