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Femtosecond laser fabricating black silicon in alkaline solution

作者
Jiao Meng,Haiying Song,Xiaoli Li,Shibing Liu
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2014-12-03 卷期号：118 (4): 1197-1203 被引量：14
标识
DOI：10.1007/s00339-014-8872-7
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