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材料科学 原子层沉积 电介质 光电子学 薄膜 高-κ电介质 薄膜晶体管 阈值电压 栅极电介质 基质（水族馆） X射线光电子能谱 等效氧化层厚度 晶体管 图层（电子） 分析化学（期刊） 饱和（图论） 椭圆偏振法 氧化物 聚萘二甲酸乙二醇酯 带隙 铪 场效应晶体管 钛 栅氧化层 电场 化学气相沉积 电子迁移率 磁滞 沉积（地质）
作者
Xiao-Ying Zhang,Wen-Zhi Zhang,Yelan Li,Zhi-Xuan Zhang,Peng Gao,Linqin Jiang,Yu Qiu,Shui-Yang Lien
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2026-03-01
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2026.02.431
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