Highly efficient and low-cost multispectral photodetector based on RF sputtered a-Si/Ti multilayer structure for Si-photonics applications

材料科学 光电探测器 光电子学 多光谱图像 光探测 响应度 溅射沉积 吸光度 光子学 可见光谱 光学 溅射 薄膜 纳米技术 计算机科学 物理 计算机视觉
作者
F. Djeffal,N. Boubiche,H. Ferhati,J. Faerber,F. Le Normand,Nicolas Javahiraly,Thomas Fix
出处
期刊:Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
卷期号:876: 160176-160176 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.jallcom.2021.160176
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