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A Review of Factors Affecting the Sensitivity of Piezoresistive Microcantilever Based MEMS Force Sensor

压阻效应 灵敏度（控制系统） 材料科学 微电子机械系统 线性 磁滞 重复性 信号（编程语言） 光电子学 悬臂梁 电子工程 动态范围 声学 计算机科学 工程类 复合材料 物理 化学 量子力学 色谱法 程序设计语言
作者
Monica Lamba,S. Ananthi,Himanshu Chaudhary,Kulwant Singh
出处
期刊：Lecture notes in electrical engineering 日期：2022-01-01 卷期号：: 75-82 被引量：1
标识
DOI：10.1007/978-981-19-0252-9_8
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