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Dependences of the hole mobility in the strained Si pMOSFET and gated Hall bars formed on SiGe/Si(1 1 0) on the channel direction and the strained Si thickness

电子迁移率 材料科学 异质结 薄脆饼 光电子学 各向异性 霍尔效应 应变硅 价带 半导体 硅 凝聚态物理 MOSFET 带隙 电阻率和电导率 晶体管 电气工程 光学 晶体硅 物理 电压 工程类 非晶硅
作者
Keisuke Arimoto,Taisuke Fujisawa,Daichi Namiuchi,Atsushi Onogawa,Yuichi Sano,Daisuke Izumi,Junji Yamanaka,Kosuke O. Hara,Kentarou Sawano,Kiyokazu Nakagawa
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2021-07-07 卷期号：571: 126246-126246 被引量：5
链接
sciencedirect.comdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2021.126246
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