Coupled numerical analysis to investigate the heating mechanism of ultrasonic imprint lithography

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作者
Jong Han Park,Ki Yeon Lee,Keun Park
出处
期刊:Ultrasonics [Elsevier BV]
卷期号:60: 96-102 被引量:18
标识
DOI:10.1016/j.ultras.2015.02.017
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