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作者
Efrain Altamirano Sánchez,
Vasile Paraschiv,
M. Demand,
Werner Boullart
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2011-03-08
卷期号：88 (9): 2871-2878
被引量：21
标识
DOI：10.1016/j.mee.2011.03.001
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