Effect of off-axis illumination on stepper overlay

步进电机 光学 镜头(地质) 覆盖 计算机科学 薄脆饼 失真(音乐) 连贯性(哲学赌博策略) 材料科学 光电子学 物理 带宽(计算) 放大器 量子力学 程序设计语言 计算机网络
作者
Nigel R. Farrar
出处
期刊:Proceedings of SPIE 被引量:2
标识
DOI:10.1117/12.209210
摘要

Modified illumination schemes for wafer steppers, such as oblique and low partial coherence illumination, can improve the imaging performance for some types of microlithography patterns. Implementation of these methods by simple insertion of apertures into a stepper illuminator, without reoptimization of the illuminator, can lead to deterioration in illumination power and uniformity. The different apertures may also affect lens aberrations, lens distortion and illumination telecentricity and require adjustments for the effective control of dose, focus and reduction ratio. This study has examined the set-up of a modified illumination system, the effects of four different illuminator apertures on several lens parameters and the consequent effect on overlay between layers printed with different apertures. It is found that the lens performance is either not significantly changed or can be compensated adequately in the case of off-axis illumination apertures but deteriorates when using low partial coherence illumination. However, preliminary overlay tests between fields printed using different apertures show acceptable performance in all cases.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
不倦应助Hhd采纳,获得10
刚刚
zxx完成签到 ,获得积分10
1秒前
万能图书馆应助FengGo采纳,获得10
1秒前
田様应助gc采纳,获得10
3秒前
4秒前
6秒前
shinysparrow应助课小研采纳,获得10
7秒前
Rachel完成签到,获得积分10
8秒前
8秒前
99giddens发布了新的文献求助10
9秒前
饱满一刀发布了新的文献求助20
10秒前
10秒前
起昵称好困难完成签到 ,获得积分10
14秒前
17秒前
酷波er应助张展鹏采纳,获得10
21秒前
Qing发布了新的文献求助10
22秒前
啾啾完成签到,获得积分10
23秒前
行走的鱼完成签到,获得积分10
23秒前
不倦应助Autumn采纳,获得30
24秒前
田様应助lion_wei采纳,获得10
25秒前
26秒前
27秒前
yikiann完成签到,获得积分20
30秒前
31秒前
Micheal发布了新的文献求助10
32秒前
张展鹏发布了新的文献求助10
32秒前
乐乐应助小尚要加油采纳,获得10
32秒前
yikiann发布了新的文献求助20
33秒前
斯文败类应助瘦瘦的馒头采纳,获得10
35秒前
36秒前
红茸茸羊完成签到,获得积分10
37秒前
饱满一刀完成签到,获得积分10
39秒前
李健应助无语的冰旋采纳,获得10
42秒前
自信凡松发布了新的文献求助10
43秒前
45秒前
不倦应助仪飞冲天小女警采纳,获得10
45秒前
junmoxiao完成签到 ,获得积分10
46秒前
syf000128发布了新的文献求助10
47秒前
50秒前
柯一一应助NRJ采纳,获得10
50秒前
高分求助中
Teaching Social and Emotional Learning in Physical Education 900
Plesiosaur extinction cycles; events that mark the beginning, middle and end of the Cretaceous 800
Recherches Ethnographiques sue les Yao dans la Chine du Sud 500
Two-sample Mendelian randomization analysis reveals causal relationships between blood lipids and venous thromboembolism 500
Chinese-English Translation Lexicon Version 3.0 500
[Lambert-Eaton syndrome without calcium channel autoantibodies] 460
Wisdom, Gods and Literature Studies in Assyriology in Honour of W. G. Lambert 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 有机化学 工程类 生物化学 纳米技术 物理 内科学 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 电极 光电子学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 2393746
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2097761
关于积分的说明 5285939
捐赠科研通 1825260
什么是DOI,文献DOI怎么找? 910139
版权声明 559943
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 486400