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Adsorption and Reaction Behaviors of Hf Precursor with Two Hydroxyls on Si(100): First Principles Study

作者

Dae-Hyun Kim,Daehee Kim,Hwa-Il Seo,Kiyoung Kim,Yeong-Cheol Kim

出处

期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：2009-01-01 卷期号：1155 被引量：1

标识

DOI：10.1557/proc-1155-c09-14

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