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作者
Yuta Oba,
Yasuhiro Kakinuma
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2017-01-26
卷期号:49: 24-32
被引量:37
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2017.01.006
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