Synergistic role of organic additives in enhancing planarization efficiency of magnetorheological slurries

化学机械平面化 泥浆 磁流变液 材料科学 化学工程 复合材料 抛光 控制工程 工程类 阻尼器
作者
Chi-Ming Chen,Chia‐Chen Li
出处
期刊:Tribology International [Elsevier BV]
卷期号:211: 110909-110909 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.triboint.2025.110909
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