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Integration of three-beam laser interference lithography and metal assisted chemical etching for enhanced electrical and antireflection characteristics in Si micro/nano structures

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作者
Sadaf Saeed,Ali Zia,Umema Shakoor,K. Arshad,Sana Tariq,Changrui Liao,Zuobin Wang
出处
期刊：Mechanics of Advanced Materials and Structures [Taylor & Francis]
日期：2025-03-06 卷期号：: 1-18
标识
DOI：10.1080/15376494.2025.2468379
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