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Molecular layer deposition of tin-based organic–inorganic hybrid films as photoresists

锡图层（电子）沉积（地质）材料科学化学工程纳米技术化学冶金地质学古生物学沉积物工程类

作者

Dong Geun Kim,Kyungryul Ha,Hyekyung Kim,Woo‐Hee Kim,Tae Joo Park,Ji‐Hoon Ahn

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-01-06 卷期号：687: 162240-162240

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2024.162240

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