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Investigation of the impact of optical glass composition on ceria slurry stability during chemical mechanical polishing process

抛光 泥浆 化学机械平面化 材料科学 过程(计算) 化学成分 作文(语言) 冶金 复合材料 化学 语言学 哲学 有机化学 计算机科学 操作系统
作者
Fatima Mohamed Abbas,Nabil Belkhir,Andreas Herrmann,Edda Rädlein
出处
期刊:Powder Technology [Elsevier]
卷期号:448: 120290-120290 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.powtec.2024.120290

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