Ultraflat single-crystal hexagonal boron nitride for wafer-scale integration of a 2D-compatible high-κ metal gate

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作者
Yani Wang,Chao Zhao,Xin Gao,Liming Zheng,Jun Qian,Xiaoyin Gao,Jiade Li,Junchuan Tang,Congwei Tan,Jiahao Wang,Xuetao Zhu,Jiandong Guo,Zhongfan Liu,Feng Ding,Hailin Peng
出处
期刊:Nature Materials [Nature Portfolio]
卷期号:23 (11): 1495-1501 被引量:7
标识
DOI:10.1038/s41563-024-01968-z
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