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A novel high-Q Lamé mode bulk acoustic resonator
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作者
Zeyu Wu,
Bo Niu,
Young Ki Hong,
Junyuan Zhao,
Yinfang Zhu,
Jinling Yang
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2024-10-22
卷期号：295: 112279-112279
标识
DOI：10.1016/j.mee.2024.112279
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