Graphene-based MEMS devices for gas sensing applications: A review

微电子机械系统 石墨烯 材料科学 纳米技术 工程物理 工程类
作者
Tirad Owais,Mahmoud Khater,Hussain Al‐Qahtani
出处
期刊:Micro and nanostructures 卷期号:195: 207954-207954 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.micrna.2024.207954
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