Infrared spectroscopy of silicon carbide layers synthesized by the substitution of atoms on the surface of single-crystal silicon

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作者
S. A. Grudinkin,V. G. Golubev,А. В. Осіпов,Н. А. Феоктистов,С. А. Кукушкін
出处
期刊:Physics of the Solid State [Springer Nature]
卷期号:57 (12): 2543-2549 被引量:12
标识
DOI:10.1134/s1063783415120136
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