Laser direct writing rapid inversion lithography method based on generative adversarial network

计算机科学 平版印刷术 鉴别器 发电机（电路理论） 激光器 下一代光刻 编码器 光学接近校正 计算光刻 光刻 结构光 电子工程 吞吐量 反演（地质） 浸没式光刻 趋同（经济学） 临界尺寸 算法 反向 空间映射 多目标优化 维数（图论） 直线（几何图形） 微调 匹配（统计） 电子束光刻 相似性（几何） 规范化（社会学） 计算机工程 近似误差