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作者
Wangu Kang,
J.H. Lee,
Jeong Hwan Han
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2026-01-01
卷期号：14 (9): 3587-3596
标识
DOI：10.1039/d5tc04067a
摘要
Oxygen-scavenging MoN x converts ALD MoO x into metastable monoclinic MoO 2 , enabling high-k rutile TiO 2 -based capacitors with low leakage and ultralow EOT.
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