发布文献求助

Impact of PECVD SiON stoichiometry and post-annealing on the silicon surface passivation

钝化 等离子体增强化学气相沉积 氮化硅 材料科学 硅 退火（玻璃） 薄脆饼 载流子寿命 化学计量学 分析化学（期刊） 氮化硅 化学气相沉积 图层（电子） 光电子学 化学 纳米技术 复合材料 物理化学 色谱法
作者
Julien Dupuis,Erwann Fourmond,J.‐F. Lelièvre,D. Ballutaud,M. Lemiti
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2007-12-12 卷期号：516 (20): 6954-6958 被引量：61
链接
hal.science hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2007.12.026
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
ECT完成签到，获得积分10
1秒前
害羞傲薇完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
3秒前
gao完成签到 ，获得积分10
3秒前
3秒前
bibgyueli完成签到，获得积分10
4秒前
小蘑菇的应助被洋芋锅巴采纳，获得10
5秒前
HHHWJ完成签到 ，获得积分10
5秒前
7秒前
7秒前
温暖涫完成签到 ，获得积分10
8秒前
子车雁开发布了新的文献求助10
8秒前
Altria发布了新的文献求助10
8秒前
跳脚的虾完成签到 ，获得积分10
8秒前
陈笨笨完成签到，获得积分10
10秒前
11秒前
11秒前
12秒前
12秒前
冷静的胜完成签到，获得积分10
13秒前
15秒前
lf完成签到，获得积分10
16秒前
海螺姑娘完成签到，获得积分10
16秒前
16秒前
DXM完成签到 ，获得积分10
17秒前
黄徐发布了新的文献求助10
18秒前
rym0404完成签到，获得积分10
19秒前
朱科源啊源完成签到 ，获得积分10
19秒前
安澜发布了新的文献求助200
20秒前
伶俐的雁蓉完成签到，获得积分10
21秒前
吴语旭完成签到，获得积分10
22秒前
HZ发布了新的文献求助10
22秒前
nancy发布了新的文献求助10
23秒前
无花果的应助被霸气的黑猫采纳，获得10
23秒前
大意的雨双完成签到 ，获得积分10
24秒前
25秒前
梦想飞翔完成签到，获得积分10
26秒前
26秒前
数乱了梨花完成签到 ，获得积分10
27秒前
高分求助中
Introduction to Strong Mixing Conditions Volumes 1-3 500
Tip60 complex regulates eggshell formation and oviposition in the white-backed planthopper, providing effective targets for pest control 400
Optical and electric properties of monocrystalline synthetic diamond irradiated by neutrons 320
共融服務學習指南 300
Essentials of Pharmacoeconomics: Health Economics and Outcomes Research 3rd Edition. by Karen Rascati 300
Peking Blues // Liao San 300
E-commerce live streaming impact analysis based on stimulus-organism response theory 260
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3801238
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3346865
关于积分的说明 10330869
捐赠科研通 3063228
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1681450
邀请新用户注册赠送积分活动 807600
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 763743
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通