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Oxygen and carbon incorporation during infra-red assisted Czochralski growth of silicon crystals

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作者
Urban Ekhult,Torbjörn Carlberg
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：1989-12-01 卷期号：98 (4): 801-809
标识
DOI：10.1016/0022-0248(89)90320-5
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