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Enabling Beyond-16-Layer 3D Stacking with Ultra-Thin Die Hybrid Bonding with Integrated Bonder
材料科学
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制造工艺
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复合数
作者
Guan Huei See,
Shin-Puu Jeng,
Arvind Sundarrajan,
Loke Yuen Wong,
Patrick Lim,
Xiao Dong Chen,
Santosh Kumar Rath,
Xing Zhao,
Prayudi Lianto,
Ashok Muthukumaran,
Michael Chudzik
标识
DOI：10.1109/ectc51846.2026.00221
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