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A three-degrees-of-freedom motion error measurement system based on Mach–Zehnder interferometry

干涉测量 马赫-曾德尔干涉仪 物理 运动（物理） 自由度（物理和化学） 光学 马赫数 声学 经典力学 机械 量子力学
作者
Qing Yu,Tong Zou,Cheng Fang,Hang Su,Tegoeh Tjahjowidodo,Yin Wang,Ting Liu
出处
期刊：Measurement [Elsevier BV]
日期：2024-07-01 卷期号：: 115337-115337
标识
DOI：10.1016/j.measurement.2024.115337
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