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A review of the preparation and application of lead zirconate titanate (PZT) thin film sensors
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作者
Tianjian Zhao,
Jinzhe Li,
Yang Xue,
Zhifu Yin
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：13 (31): 15807-15851
被引量：18
标识
DOI：10.1039/d5tc01573a
摘要
This study systematically investigates the fabrication processes of lead zirconate titanate (PZT) thin-film sensors. It covers PZT synthesis methods ( e.g. , sol–gel, sputtering, pulsed laser deposition) and thin-film deposition techniques.
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