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作者
S. Vadivel,
V.P. Kamalakannan,
Nowroji Kavitha,
T. Santhoshini Priya,
N. Balasubramanian
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2015-11-20
卷期号：41: 59-66
被引量：56
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2015.07.023
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