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作者
А В Саенко,З. Е. Вакулов,В. С. Климин,G. E. Bilyk,S. P. Malyukov
出处
期刊:Russian Microelectronics
[Springer Nature]
日期:2023-08-01
卷期号:52 (4): 297-302
标识
DOI:10.1134/s1063739723700452
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