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Optimizing Cobalt Silicide Interfaces With Carbon PAI: Enhanced Thermal Stability and Reduced Specific Contact Resistivity for DRAM Applications

德拉姆 硅化物 电阻率和电导率 材料科学 热稳定性 钴 接触电阻 光电子学 电子工程 纳米技术 硅 冶金 电气工程 化学工程 工程类 图层（电子）
作者
Yanping He,Shujuan Mao,Jing Xu,Xianglie Sun,Xu Chen,Jianfeng Gao,Weibing Liu,Jinbiao Liu,Junfeng Li,Guilei Wang,Chao Zhao,Jun Luo
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-08-21 卷期号：71 (10): 6244-6248
标识
DOI：10.1109/ted.2024.3430890
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