发布文献求助

Indium tin oxide etch characteristics using CxH2x+2(x=1,2,3)/Ar

干法蚀刻 腐蚀坑密度 材料科学 蚀刻（微加工） 分析化学（期刊） 反应离子刻蚀 氢 氧化物 铟 等离子体刻蚀 表面粗糙度 甲烷 化学工程 复合材料 图层（电子） 化学 冶金 有机化学 工程类
作者
Jong Woo Hong,Hyun Min Cho,Yu Gwang Jeong,Da‐Woon Jung,Yun Jong Yeo,Ji Eun Kang,Hee‐Ju Kim,Hyun Woo Tak,Geun Young Yeom,Dong Woo Kim
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2023-02-21 卷期号：160: 107395-107395 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2023.107395
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
曾文奕发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
lz完成签到，获得积分20
1秒前
沐风发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
彼方250521完成签到，获得积分10
2秒前
安颜演发布了新的文献求助10
2秒前
阁主发布了新的文献求助10
3秒前
kourosz完成签到，获得积分10
3秒前
29完成签到，获得积分10
4秒前
一只秤砣发布了新的文献求助10
5秒前
1111111111111发布了新的文献求助10
5秒前
carlitos发布了新的文献求助10
6秒前
hongera发布了新的文献求助20
7秒前
叶子完成签到，获得积分10
7秒前
zhiyao2025完成签到，获得积分10
7秒前
10秒前
小丑鱼儿发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
苗一夫完成签到，获得积分10
11秒前
12秒前
13秒前
HB发布了新的文献求助10
13秒前
12完成签到，获得积分10
13秒前
14秒前
朴素梦蕊完成签到 ，获得积分10
14秒前
15秒前
丁一发布了新的文献求助10
16秒前
王甜发布了新的文献求助10
17秒前
愤怒的曼荷完成签到，获得积分20
18秒前
18秒前
19秒前
19秒前
kings完成签到，获得积分10
20秒前
能干梦安发布了新的文献求助10
20秒前
20秒前
21秒前
我是老大的应助被caihong采纳，获得10
21秒前
hongera完成签到，获得积分10
22秒前
Lorin完成签到，获得积分0
22秒前
高分求助中
HIGH DYNAMIC RANGE CMOS IMAGE SENSORS FOR LOW LIGHT APPLICATIONS 1500
Constitutional and Administrative Law 1000
Microbially Influenced Corrosion of Materials 500
Die Fliegen der Palaearktischen Region. Familie 64 g: Larvaevorinae (Tachininae). 1975 500
The Experimental Biology of Bryophytes 500
Numerical controlled progressive forming as dieless forming 400
Rural Geographies People, Place and the Countryside 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5382062
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4505273
关于积分的说明 14021194
捐赠科研通 4414690
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2425029
邀请新用户注册赠送积分活动 1417895
关于科研通互助平台的介绍 1395797
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通