Three-color lithography for high resolution fabrication

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作者
Nicholas Fisher,Shûhei Yamaguchi,Sandra A. Gutierrez Razo,Νικόλαος Λιάρος,Andrea N. Zeppuhar,Daniel E. Falvey,John S. Petersen,John T. Fourkas
标识
DOI:10.1117/12.3010863
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