SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Smoothing Single-Crystalline SiC Surface with Reactive Ion Etching Using Pure NF3 and NF3/Ar Mixture Gas Plasmas
反应离子刻蚀
平滑的
蚀刻（微加工）
等离子体
离子
分析化学（期刊）
材料科学
化学
纳米技术
色谱法
计算机科学
有机化学
物理
计算机视觉
量子力学
图层（电子）
作者
Yuki Kotaka,
Tomoki Nonoyama,
Hirohisa Yamada,
Takatsugu Kanatani,
Testuro Tojo,
Minoru Inaba,
Akimasa Tasaka
出处
期刊：
Meeting abstracts
[Institute of Physics]
日期：2010-07-08
卷期号：MA2010-02 (2): 137-137
链接
iop.org
doi.org
标识
DOI：10.1149/ma2010-02/2/137
摘要
Abstract not Available.
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
tutu
完成签到，获得积分
10
刚刚
跪求科研顺利
完成签到，获得积分
10
刚刚
陶醉
完成签到，获得积分
10
刚刚
科研通AI6.3
的
应助
被
Lucifer2012
采纳，获得
10
刚刚
爱搞科研的西奥
完成签到，获得积分
10
1秒前
风中的元槐
发布了新的
文献求助
10
1秒前
我是老大
的
应助
被
闵嘉嘉
采纳，获得
10
2秒前
酷波er
上传了
应助文件
2秒前
cdercder
的
应助
被
LSNSIXI
采纳，获得
30
2秒前
天天快乐
的
应助
被
L3
采纳，获得
10
3秒前
李爱国
上传了
应助文件
5秒前
相龙
发布了新的
文献求助
10
6秒前
l98916
发布了新的
文献求助
20
8秒前
wxr
发布了新的
文献求助
10
8秒前
完美世界
上传了
应助文件
8秒前
科研通AI6.3
的
应助
被
争取SCI
采纳，获得
10
9秒前
ran
完成签到
，获得积分
10
10秒前
云边有个小卖部
发布了新的
文献求助
30
11秒前
风中的元槐
完成签到，获得积分
10
11秒前
蓝天
的
应助
被
Viper
采纳，获得
10
12秒前
赘婿
的
应助
被
00hello00
采纳，获得
10
12秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
十三月
采纳，获得
10
13秒前
巫马尔槐
发布了新的
文献求助
10
13秒前
斯文败类
的
应助
被
Hommand_藏山
采纳，获得
10
14秒前
大个
的
应助
被
l98916
采纳，获得
20
14秒前
FashionBoy
上传了
应助文件
15秒前
隐形曼青
的
应助
被
白兔
采纳，获得
10
15秒前
Owen
上传了
应助文件
16秒前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
18秒前
料里鼠王
完成签到
，获得积分
10
19秒前
相龙
完成签到，获得积分
10
19秒前
cdercder
上传了
应助文件
19秒前
渭阳野士
完成签到，获得积分
10
20秒前
无极微光
上传了
应助文件
20秒前
初景
上传了
应助文件
20秒前
姜圆
发布了新的
文献求助
10
20秒前
充电宝
的
应助
被
农大彭于晏
采纳，获得
10
21秒前
李爱国
的
应助
被
灯火阑珊曦
采纳，获得
10
21秒前
英姑
上传了
应助文件
21秒前
爆米花
的
应助
被
Jessy畅畅
采纳，获得
10
22秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场现状调查及投资机会研判报告
1000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场规模及竞争格局分析报告
1000
48V Low-voltage Power Distribution Network (PDN) Architecture Industry Report, 2024
800
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition
700
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
适配Micro-LED色转换的高兼容性量子点负性光刻胶制备与工艺研究
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7315430
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8931474
关于积分的说明
18932295
捐赠科研通
6975595
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3213883
关于科研通互助平台的介绍
2381850
邀请新用户注册赠送积分活动
2192409
今日热心研友
cdercder
242
3221
Kao
275
2500
Samuel
156
3460
yjh123
142
3278
Copyright
281
1740
行走的荷尔蒙
131
2420
arniu2008
93
2220
OK
23
1750
嘻嘻哈哈
104
640
蓝天
106
600
学术文献互助
1510
liuzhuohao
60
730
斯文的初蝶
1210
殷勤的紫槐
1088
Jiling
68
332
cqr
83
ale
750
sagitar
700
pluto
26
420
Wyf
66
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
Kao
Samuel
yjh123
Copyright
行走的荷尔蒙
arniu2008
OK
嘻嘻哈哈
蓝天
学术文献互助
liuzhuohao
斯文的初蝶
殷勤的紫槐
Jiling
cqr
ale
sagitar
pluto
Wyf
皖公网安备34019202002308
