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作者
Bin Liu,
Jie Lin,
Huan Liu,
Jin An,
Peng Jin
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2016-09-13
卷期号：166: 50-54
被引量：57
标识
DOI：10.1016/j.mee.2016.09.005
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