抛光
材料科学
机制（生物学）
光热效应
光热治疗
纳米技术
曲面（拓扑）
光热光谱学
化学工程
化学
表面改性
作者
Shichang Wang,Chuanwang Xing,Shenghua Wang,Chengcheng Zhang,Hailong Feng,Yuhang Dong,Yuxuan Zhou,Shuai Yuan,Zuozuo Wu,Zijian Hong,Wantang Wang,Ziyi Wang,Wei Sun,Deren Yang
摘要
A photothermal chemical mechanical polishing (PTCMP) technique is developed with defect-engineered black nano-titanium dioxide (TiO 2 ) as the photothermal catalyst, achieving high material removal rate and atomic-level surface roughness.
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