Optimization of dual-fluid wafer cleaning system through CFD simulation and dimensional analysis of dynamic liquid film behavior

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作者
Bin Yao,Runkai Song,Jingyi Wu,Jiancheng Zhou,Bin Hua,Zhen Jiao
出处
期刊:Chemical Engineering and Processing [Elsevier BV]
卷期号:217: 110519-110519
标识
DOI:10.1016/j.cep.2025.110519
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