Etching Technologies in Semiconductor Manufacturing: A Short Review

蚀刻(微加工) 半导体器件制造 半导体 材料科学 光电子学 工程物理 纳米技术 工程类 薄脆饼 图层(电子)
作者
S. S. Mahtab,Rapsan Amin Anonto,Tanmay Talukder,Ahamed Raihan,Inzamamul Islam
出处
期刊:Advances in science, technology & innovation 卷期号:: 319-324 被引量:4
标识
DOI:10.1007/978-3-031-73816-6_36
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