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Dépôt chimique en phase vapeur et à basse pression de couches minces à base de silicium dans un réacteur à lampes halogène
物理
作者
B. Semmache,
S. Kallel,
H. El Omari,
M. Lemiti,
A. Laugier
出处
期刊:
Canadian Journal of Physics
[NRC Research Press]
日期:1999-01-01
卷期号:77 (9): 737-743
被引量:1
标识
DOI:10.1139/cjp-77-9-737
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