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Laser technology: Microfabrication of thin films
作者
Ian W. Boyd,
F. Micheli
出处
期刊:
Nature
[Nature Portfolio]
日期:1986-06-01
卷期号:321 (6071): 649-650
被引量:2
链接
ac.uk
doi.org
标识
DOI:10.1038/321649a0
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