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作者
Hong Lei,
Fengling Chu,
Baoqi Xiao,
Xifu Tu,
Hua Xu,
Haineng Qiu
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-10-13
卷期号：87 (9): 1747-1750
被引量：34
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.10.006
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