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Partially Isolated Dual Work Function Gate IGZO TFT With Obviously Reduced Leakage Current for 3D DRAMs

德拉姆 薄膜晶体管 材料科学 光电子学 泄漏（经济） 电气工程 对偶（语法数字） 工作职能 逻辑门 电子工程 工程类 纳米技术 宏观经济学 艺术 经济 文学类 图层（电子）
作者
Yunjiao Bao,Gangping Yan,Lei Cao,Chuqiao Niu,Q. Li,Guanqiao Sang,Lianlian Li,Yanzhao Wei,Xuexiang Zhang,Jie Luo,Yanyu Yang,Gaobo Xu,Huaxiang Yin
出处
期刊：IEEE Journal of the Electron Devices Society [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：12: 637-644
链接
doi.orgdoi.org
标识
DOI：10.1109/jeds.2024.3414469
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