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The mechanism of ceria slurry on chemical mechanical polishing efficiency and surface quality of Gallium nitride

材料科学抛光泥浆化学机械平面化氮化物冶金机制（生物学）氮化镓质量（理念）镓复合材料图层（电子）认识论哲学

作者

Wenhao Xian,Baoguo Zhang,Shitong Liu,Yijun Wang,Sihui Qin,Yang Liu

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2024-12-10 卷期号：188: 109208-109208 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2024.109208

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