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Study of hafnium oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering under glancing angle deposition at varying target to substrate distance

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作者
S. Maidul Haque,K. Divakar Rao,J. S. Misal,R.B. Tokas,D. D. Shinde,J.V. Ramana,Sanjay Rai,N. K. Sahoo
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2015-06-23 卷期号：353: 459-468 被引量：21
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2015.06.077
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