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The Discharge Characteristics of Capacitively Coupled Ar Plasma as the Change of Pressure
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作者
Guiqin Yin,
Jiajie Wang,
Qianghua Yuan
出处
期刊:
Plasma Physics Reports
[Pleiades Publishing]
日期:2023-06-01
卷期号:49 (6): 802-807
被引量:1
标识
DOI:10.1134/s1063780x23600135
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