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The in-situ parasitic microstructure interface and defect formation mechanism in (010) β-Ga2O3 epitaxial film via MOCVD

材料科学 金属有机气相外延 外延 微观结构 接口（物质） 原位 机制（生物学） 光电子学 纳米技术 冶金 复合材料 图层（电子） 哲学 物理 认识论 毛细管数 毛细管作用 气象学
作者
Xianqiang Song,Yunlong He,Zhan Wang,Xiaoli Lu,Jing Zhi Sun,Ying Zhou,Yang Liu,Jiatong Fan,Xiaoning He,Xuefeng Zheng,Xiaohua Ma,Yue Hao
出处
期刊：Science China. Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2025-01-02
标识
DOI：10.1007/s40843-024-3221-0
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